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    非球面玻璃模造用碳化鎢模仁磁控濺射錸–銥鍍膜工藝優化

    日期:2013-03-01     瀏覽:2429    下載:78     體積:857.43K     評論:0    


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        通過鉭過渡鍍層與錸–銥復合鍍層相結合的膜層結構,解決了非球面玻璃模造碳化鎢模仁熱壓壽命短、沾黏等問題。通過離子源和鍍膜層厚度參數的優化調整,得到了最佳鍍膜工藝和參數,改善了模仁的表面品質,延長了模仁的使用壽命。鍍鉭膜層15 min 及錸–銥膜層21 min 后所得鍍膜的總厚度約為270 nm,模仁熱壓壽命可超過3 000 次。
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